[发明专利]带电粒子束的流强调节装置有效
| 申请号： | 201711003720.3 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109698103B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 何子锋;欧阳联华;李德明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | H01J21/26 | 分类号： | H01J21/26 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;张冉 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带电粒子束的流强调节装置。所述带电粒子束的流强调节装置包括真空管和N级扩束拦截单元，所述N为大于或等于2的正整数；在所述真空管中沿所述带电粒子束前进方向依次设置所述扩束拦截单元；所述扩束拦截单元包括：圆锥形拦截光阑、可变孔径光阑和螺线管；在所述扩束拦截单元中沿所述带电粒子束前进方向依次设置所述圆锥形拦截光阑、所述可变孔径光阑和所述螺线管；所述带电粒子束在进入所述真空管后，依次通过所述N级扩束拦截单元，所述N级扩束拦截单元对所述带电粒子束进行逐量级的衰减。本发明的一种带电粒子束的流强调节装置实现了对带电粒子束的流强的高精度跨量级调节。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 调节 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束的流强调节装置，其特征在于，所述带电粒子束的流强调节装置包括真空管和N级扩束拦截单元，所述N为大于或等于2的正整数；在所述真空管中沿所述带电粒子束前进方向依次设置所述扩束拦截单元；所述扩束拦截单元包括：圆锥形拦截光阑、可变孔径光阑和螺线管；在所述扩束拦截单元中沿所述带电粒子束前进方向依次设置所述圆锥形拦截光阑、所述可变孔径光阑和所述螺线管；所述带电粒子束在进入所述真空管后，依次通过所述N级扩束拦截单元，所述N级扩束拦截单元对所述带电粒子束进行逐量级的衰减。
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