[发明专利]一种基于激光诱导喷嘴的多维微细结构沉积方法在审
| 申请号： | 201711003711.4 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN108018549A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 黄志刚;黄亚军;陈英怀;彭浩宇;蔡文莱 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C26/02 | 分类号： | C23C26/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光诱导喷嘴的多维微细结构沉积方法，包括如下步骤：S1：通过磁控溅射、蒸发镀及电镀技术将靶材(4)置于基片(3)上；S2:调节激光器产生的激光的能量和频率，产生高能脉冲激光(1)；S3:形成熔融液态层；S4:在等离子体对外辐射冲击波的作用下，熔融液态层向前推动；S5：熔融液态层以激光聚焦光斑为中心，依次形成气态区(6)、熔融区(7)以及固态区(8)；S6：在中心局部的熔融区(7)与固体区(8)凝固变形形成一个喷嘴(9)；S7:经过喷嘴(9)进行液滴(10)喷射，在接收基片(5)得到多维微细结构。本发明提出利用激光诱导喷嘴，喷嘴可提供稳定的、高度定向的液滴喷射，可以提高喷射的定向性，其方法操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 诱导 喷嘴 多维 微细 结构 沉积 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光诱导喷嘴的多维微细结构沉积方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：通过磁控溅射、蒸发镀及电镀技术将靶材(4)置于基片(3)上；S2:调节激光器产生的激光的能量和频率，产生高能脉冲激光(1)；S3:高能脉冲激光(1)经过凸透镜(2)聚焦于基片(3)与特定参数的靶材(4)之间，使得靶材(4)产生部分液化，形成熔融液态层；S4:当激光能量大于熔融液态层的击穿阈值时，熔融液态层将会产生高温高压的等离子体，在等离子体对外辐射冲击波的作用下，熔融液态层向前推动；S5：熔融液态层以激光聚焦光斑为中心，依次形成气态区(6)、熔融区(7)以及固态区(8)；S6：等离子体继续对外辐射冲击波，提供的驱动力使熔融区(7)融化的物质通过热扩散达到自由表面，在中心局部的熔融区(7)与固体区(8)凝固变形形成一个喷嘴(9)；S7:经过喷嘴(9)进行液滴(10)喷射，在接收基片(5)得到多维微细结构。
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