[发明专利]一种光学薄膜的膜厚监控方法有效
| 申请号： | 201710979415.1 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107726987B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 庄秋慧;居本祥;王先全;程瑶;米曾真;鲁进 | 申请（专利权）人： | 重庆理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G06F17/50 |
| 代理公司： | 50212 重庆博凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙根 |
| 地址： | 400054 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学薄膜的膜厚监控方法，包括如下步骤：1)监控膜层的T或者R随膜厚增加过程中的极值点数目，得到以λ/4为基本单位的整数厚度的膜层；2)当n | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学薄膜 监控 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学薄膜的膜厚监控方法，其特征在于：包括如下步骤：/n1)利用光电测光法监控膜层的T或者R随膜厚增加过程中的极值点数目，得到以λ/4为基本单位的整数厚度的膜层，其中，单层膜反射率为R，透射率为T，T+R＝1：/n
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