[发明专利]一种基于金刚石薄膜的全海深温度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201710957090.7 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN107631809A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 姜辛;盖志刚;张涛;郭风祥;张妹;邱慧敏;李恒;李正军 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 主分类号： | G01K1/08 | 分类号： | G01K1/08;G01K1/18;G01K13/02 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)37247 | 代理人： | 刘娜,李新欣 |
| 地址： | 266071 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于金刚石薄膜的全海深温度传感器，包括管状的金属外壳，所述金属外壳顶端设有金刚石基底，所述金属外壳内部位于金刚石基底上设有硼掺杂金刚石薄膜材料制成的温度响应元件，所述温度响应元件的两端设有电极引线，所述温度响应元件和电极引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层；所述金属外壳和金刚石基底的连接处设有密封圈，同时还公开了该温度传感器的制备方法，本发明所公开的温度传感器体积小、响应速度快、分辨率高、结构稳定、测量不受外界海水压力影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金刚石 薄膜 全海深 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于金刚石薄膜的全海深温度传感器，其特征在于，包括管状的金属外壳，所述金属外壳顶部设有金刚石基底，所述金属外壳内部位于金刚石基底上设有硼掺杂金刚石薄膜材料制成的温度响应元件，所述温度响应元件的两端设有电极引线，所述温度响应元件和电极引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层；所述金属外壳和金刚石基底的连接处设有密封圈。
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