[发明专利]一种扫描探针检测装置有效
| 申请号： | 201710918448.5 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107576822B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王文娟;卢昆忠 | 申请（专利权）人： | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军;张瑾 |
| 地址： | 430074 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种扫描探针检测装置，包括沿光路依次设置的激光光源、分光棱镜、小孔光阑、透镜组以及微悬臂，所述透镜组与所述微悬臂组成半共心谐振腔，所述透镜组朝向所述微悬臂的表面为凹球面，所述凹球面镀有高反射率的部分透射膜，所述凹球面的球心落在所述微悬臂上，所述微悬臂表面具有反射层，所述分光棱镜的一侧还设有用于接收由所述半共心谐振腔出射的干涉光的光电探测器。本发明采用一组透镜组与微悬臂组成的半共心谐振腔，通过对光束进行多光束干涉，可以对小尺寸、表面反射率不高的微悬臂的偏移进行探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针检测装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的激光光源、分光棱镜、小孔光阑、透镜组以及微悬臂，所述透镜组与所述微悬臂组成半共心谐振腔，所述透镜组朝向所述微悬臂的表面为凹球面，所述凹球面镀有高反射率的部分透射膜，所述凹球面的球心落在所述微悬臂上，所述微悬臂表面具有反射层，所述分光棱镜的一侧还设有用于接收由所述半共心谐振腔出射的干涉光的光电探测器，所述微悬臂与所述半共心谐振腔的光轴的垂线之间具有初始偏转角。
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