[发明专利]一种基于超材料结构的湿度传感器有效
| 申请号： | 201710899326.6 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107884457B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 韩磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 周蔚然 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于超材料结构的湿度传感器，包括基板、输入微带信号线、输出微带信号线、叉指结构、开路短截线电感、微带线地线、聚酰亚胺层，该湿度传感器是在基板上放置由叉指结构和开路短截线电感构成的超材料结构，当空气中的湿度发生变化时，叉指结构上涂覆的湿度敏感材料聚酰亚胺层能够吸收空气中的水汽分子，其介电常数发生变化，导致由叉指电容和开路短截线电感构成的超材料结构产生相应的相移输出，通过检测超材料结构的相移，实现湿度的测量，本发明灵敏度高，测量误差小，同时还具有结构简单、成本低、统计小、功耗低、工艺兼容等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 材料 结构 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于超材料结构的湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括基板（1）、输入微带信号线（2）、输出微带信号线（3）、输入微带信号线（2）和输出微带信号线（3）之间的叉指结构（4）（5）、两个开路短截线电感（6）（7）、微带线地线（8）、聚酰亚胺层（9），微带线地线（8）位于基板（1）的下表面，其余部分放置于基板（1）的上表面，输入微带信号线（2）与输出微带信号线（3）平行放置，其中一个开路短截线电感（6）与输入微带信号线（2）连接，另一个开路短截线电感（7）与输出微带信号线（3）连接，叉指结构（4）（5）分为两组，两组叉指结构（4）（5）相互平行、相互交错，叉指结构（4）（5）悬空的放置于输入微带信号线（2）与输出微带信号线（3）之间，其中一组叉指结构（4）与输入微带信号线（2）连接，另一组叉指结构（5）与输出微带信号线（3）连接，在叉指结构上（4）（5）涂覆一层聚酰亚胺层（9）。
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