[发明专利]一种不同厚度的PVD涂层及其实现装置在审
| 申请号： | 201710896696.4 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107723662A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;冯刚;梁海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/16;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙)31288 | 代理人： | 刘君 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种不同厚度的PVD涂层及其实现装置。采用本发明的不同厚度的PVD涂层，可以有效的解决表面不在同一平面上的工件、模具或者钻头，在PVD表面处理时表面涂层厚度一致的问题，使得PVD涂层施加给工件的内应力减小，有效的延长工件、模具或者钻头的使用寿命。另外，也能实现粗加工和精加工的工件、模具或者钻头在同一炉中一起涂层，提高了生产效率，节将了不同涂层单开一炉的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 不同 厚度 pvd 涂层 及其 实现 装置 | ||
【主权项】：
一种不同厚度的PVD涂层，其特征在于，其包括基体、结合层、功能层，功能层可以是单个涂层，也可以是两个不同的涂层经过单次或多次循环实现的，其中结合层包括厚结合层和薄结合层，功能层包括厚功能层和薄功能层。
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