[发明专利]用于确定硅中的碳含量的方法和组件在审

专利信息
申请号: 201710891166.0 申请日: 2017-09-27
公开(公告)号: CN107870156A 公开(公告)日: 2018-04-03
发明(设计)人: N·G·加纳戈纳;M·耶利内克;H·厄夫内尔;H-J·舒尔策;W·舒斯特雷德尔 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: G01N21/3563 分类号: G01N21/3563
代理公司: 永新专利商标代理有限公司72002 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国瑙伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于确定硅样品中的碳含量的方法,该方法可以包括在硅样品内部产生电活性的多原子络合物。每个多原子络合物可以包括至少一个碳原子。该方法还可以包括确定表明在硅样品中产生的多原子络合物的含量的量值并由所确定的量值来确定硅样品中的碳含量。
搜索关键词: 用于 确定 中的 含量 方法 组件
【主权项】:
用于确定硅样品中的碳含量的方法,该方法包括如下步骤:在硅样品内部产生电活性的多原子络合物,其中,每个多原子络合物包括至少一个碳原子;确定表明在硅样品中产生的多原子络合物的含量的量值;和由所确定的量值来确定硅样品中的碳含量。
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