[发明专利]一种基于硅酸镓镧基底的高温声表面波传感器

摘要

本发明涉及一种基于硅酸镓镧基底的高温声表面波传感器,包括叉指换能器、四组反射栅和压电基底，压电基底采用硅酸镓镧材料；叉指换能器与反射栅的金属电极长度为1000μm，电极高度为0.1μm，叉指换能器的金属电极周期为5μm。压电基底长度为3200μm，宽度为1100μm，高度为60μm，第一组反射栅电极数目为50，单个金属栅的宽度为5μm；第二组反射栅电极数目为51，单个金属栅的宽度为5/1.02＝4.9μm，第三组反射栅的电极数目为52，单个金属栅宽度为5/1.04＝4.8μm，第四组反射栅的电极数目为53，单个金属栅宽度为5/1.06＝4.7μm。

主权项

一种基于硅酸镓镧基底的高温声表面波传感器,使用正交频率编码实现信息传递，包括叉指换能器、四组反射栅和压电基底，压电基底采用硅酸镓镧材料，欧拉角为(0°，138.5°，26.7°)，弹性矩阵为{18.875，10.475，9.589，‑1.412，0，0，10.475，18.875，9.589，1.412，0，0，9.589，9.589，2.614，0，0，1.412，1.412，0，5.35，0，0，0，0，0，0，0，0，0，0，0，0，‑1.412，0}*1010N/m2，压电系数为{‑0.44，0.44，0，‑0.08，0，0，0，0，0，0，0.08，0.44，0，0，0，0，0，0}C/m2，相对介电常数为{18.96，1，50.19}；叉指换能器与反射栅的金属电极长度为1000μm，电极高度为0.1μm，叉指换能器的金属电极周期为5μm。压电基底长度为3200μm，宽度为1100μm，高度为60μm，中心频率值为反谐振频率与谐振频率的平均值，其中反谐振频率f‑＝249.63MHz，谐振频率f+＝250.31MHz，第一组反射栅的中心频率为f1＝250MHz，电极数目为50，单个金属栅的宽度为5μm，栅的时长τ为0.2；第二组反射栅的中心频率f2＝f1+1/τ＝255MHz，电极数目为51，单个金属栅的宽度为5/1.02＝4.9μm，以此类推，第三组反射栅的电极数目为52，单个金属栅宽度为5/1.04＝4.8μm，第四组反射栅的电极数目为53，单个金属栅宽度为5/1.06＝4.7μm。