[发明专利]一种基于质谱分析的混合气体渗透率测量装置及方法有效
| 申请号： | 201710848028.4 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN107817200B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 成永军;冯焱;陈联;赵澜;孙冬花;冯天佑;李艳武;丁栋;葛瑞宏 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 11120 北京理工大学专利中心 | 代理人： | 仇蕾安;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于质谱分析的混合气体渗透率测量装置及方法，该测量装置包括渗透系统、控温元件、抽空系统、充气系统和压力测量单元；基于质谱分析测出混合气体中任意一种气体成分的渗透率，并利用控温元件的辐射控温技术以及动态流导法，实现渗透元件在设定温度下的渗透率精确测量，降低了渗透率测量结果不确定度。本发明的测量装置及方法测量范围宽、可测气体种类多、结果准确，能够实现混合气体条件下的气体选择性渗透性能测试，以及金属和非金属材料的微小渗透率测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谱分析 混合气体 渗透 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于质谱分析的混合气体渗透率测量装置，其特征在于，该测量装置包括渗透系统、控温元件、抽空系统、充气系统和压力测量单元；/n所述渗透系统包括高压室、低压室、渗透元件、渗透工装、分压力真空计、辅助真空室及球状真空室；高压室通过渗透工装与低压室固定连接并保持真空密封，渗透元件安装在渗透工装上，辅助真空室设在渗透工装外围，球状真空室通过限流小孔与低压室固定连接；低压室通过管道与分压力真空计相连；/n所述控温元件由加热器和低温冷板组成，加热器设置在高压室外部，低温冷板设置在高压室内部，采用辐射控温的方式实现对渗透元件的温度控制；/n所述抽空系统用于对渗透系统抽真空，所述充气系统用于为高压室提供混合气体，所述压力测量单元用于测量工作工程中的气体压力。/n
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