[发明专利]基于数字全息的钢球表面缺陷检测方法

摘要

基于数字全息成像的方法对钢球表面缺陷进行精密检测，其优势在于可以非接触、成本低、分辨率高、操作简单。此方法在激光干涉及衍射原理的基础上，分别采用钢球‑钢球表面缺陷检测装置和镜面‑钢球缺陷检测装置得到全息干涉图像，利用对标准钢球与缺陷钢球表面所得全息干涉图像之间的对比，得出待测钢球表面缺陷情况，实现对钢球表面缺陷的精密检测。该方法操作简单并有效的提高了钢球检测的效率，具有重要的应用价值。

主权项

1.基于全息干涉的钢球表面的缺陷检测的方法，包括以下步骤：步骤一：搭建检测平台步骤，检测平台由激光器、扩束准直镜、半透半反棱镜、观察屏、待测钢球、参考物(钢球或平面镜)、CCD以及底座构成。步骤二：钢球表面缺陷检测步骤，检测光路以波长为632.8nm的激光P作为光源，激光通过扩束准直镜F后由球面波变为平面波，然后经过半透半反棱镜G1，将激光分为两束振动方向相同、传播方向相互垂直的相干光，将其中一束光射向待测钢球M1，其反射光束作为物光，另一束光射向参考物M2，其反射光束作为参考光，两束反射光再经过半透半反棱镜G1汇聚为一束，在光屏S上形成干涉图样。步骤三：数据采集步骤，由CCD进行干涉图像采集与记录，对干涉图像进行分析获得待测钢球表面缺陷情况。