[发明专利]盖板及显影设备

摘要

本发明提供一种盖板及一种显影设备，通过将相对于水平面倾斜的盖板盖设于显影腔室上，使得所述盖板上的液滴在自身重力的作用下能够沿所述盖板的倾斜方向流至所述盖板边缘，从而进行滑落，防止所述液滴直接滴落在基板上，从而保证位于所述显影腔室的待显影物的品质，提高产品良率。并且，在所述盖板上朝向所述显影腔室的一面设有多条间隔设置的导液条，且所述导液条朝向所述显影腔室的外表面为外凸面，从而通过所述导液条减小所述液滴与所述盖板的接触面，使得所述液滴与所述盖板之间的阻力减小，进而使得所述液滴能够沿所述导液条顺利的流动至所述盖板边缘。

主权项

一种显影设备的盖板，其特征在于，所述盖板包括第一端面、与第一端面相对的第二端面及连接第一端面和第二端面的一表面，所述盖板的表面凸设有多条间隔设置的导液条，所述导液条从所述盖板的第一端面朝向与所述第一端面相对的第二端面延伸，用于导流显影设备内沉积在盖板表面的液滴。