[发明专利]一种负压式纳米压印设备在审
| 申请号： | 201710769975.4 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107479325A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 赵敏洁;杨彦涛 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种负压式纳米压印设备，包括支撑座和升降台，升降台的四周具有多根内部中空的升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有防滑硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯。所述升降柱上端开口，升降柱的下端设置于支撑座的空腔底部，下端密闭，并且升降柱位于支撑座空腔内的部分侧面设有气孔，至少一个升降柱内还设有固定于升降台上能够沿升降柱移动的负压阀。采用本发明的设计，升降台下压过程，气流能够在负压阀流通，使得气压正常，不会影响防滑硅胶垫和样品台，上抬过程，体积变大，气流不流通，在空腔内形成负压，能够防止硅胶垫滑动，结构简单，勿需采用真空泵。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 负压式 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】：
一种负压式纳米压印设备，包括支撑座和升降台，升降台的四周具有多根内部中空的升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有防滑硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯，其特征在于：所述升降柱上端开口，下端密闭，升降柱的下端设置于支撑座的空腔底部，并且升降柱位于支撑座空腔内的部分侧面设有气孔，至少一个升降柱内还设有固定于升降台上能够沿升降柱移动的负压阀。
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