[发明专利]一种用于低压扩散炉的炉门装置及低压扩散炉有效

专利信息
申请号: 201710740056.4 申请日: 2017-08-25
公开(公告)号: CN109423697B 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 陈晖;舒勇东;杨彬;黄志海;赵志然 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: C30B31/06 分类号: C30B31/06;F27D1/18;H01L31/18
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;徐好
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种用于低压扩散炉的炉门装置,包括密封延长管、外密封炉门,以及用于隔绝低压扩散炉的反应管内热量的内密封炉门,所述密封延长管套设于所述反应管外周,密封延长管内端与所述反应管密封连接,外端与所述外密封炉门之间设有密封件,所述外密封炉门配置有开关门驱动机构,所述内密封炉门与所述外密封炉门之间设有弹性连接机构。本发明进一步公开了一种低压扩散炉,包括反应管,还包括上述的用于低压扩散炉的炉门装置。本发明具有结构可靠、密封性能好、使用寿命长等优点。
搜索关键词: 一种 用于 低压 扩散 炉门 装置
【主权项】:
1.一种用于低压扩散炉的炉门装置,其特征在于:包括密封延长管(1)、外密封炉门(2),以及用于隔绝低压扩散炉的反应管(3)内热量的内密封炉门(4),所述密封延长管(1)套设于所述反应管(3)外周,密封延长管(1)内端与所述反应管(3)密封连接,外端与所述外密封炉门(2)之间设有密封件(5),所述外密封炉门(2)配置有开关门驱动机构(6),所述内密封炉门(4)与所述外密封炉门(2)之间设有弹性连接机构(7)。
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