[发明专利]用于等离子反应装置的衬套单元有效
| 申请号： | 201710739775.4 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107376800B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 姜文兴 | 申请（专利权）人： | 科闳电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于等离子反应装置的衬套单元，所述等离子反应装置具有一第一腔体，所述衬套单元包含互相接合的多个衬套，所述多个衬套分别包含：一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，并且所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补；以及一第二连接部，用于与一对应腔体的一对接部对接，其中所述多个衬套的每一个衬套的所述第一连接部及所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 反应 装置 衬套 单元 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子反应装置的衬套单元，其特征在于，所述等离子反应装置具有一第一腔体，所述衬套单元包含互相接合的多个衬套，所述多个衬套分别包含：一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，并且所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补；以及一第二连接部，用于与一对应腔体的一对接部对接，其中所述多个衬套的每一个衬套的所述第一连接部及所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同，以及其中所述多个衬套的所述第二连接部的横向边长尺寸不同。
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