[发明专利]集成有共模误差补偿的差压传感器有效
| 申请号： | 201710728726.0 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107782485B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | D.E.瓦格纳;J.霍夫曼;N.卡切科 | 申请（专利权）人： | 测量专业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 差压传感器可提供共模校正差压读数。差压传感器可提供两个压力感测隔膜。压力传感器可配置为使得，第一隔膜测量流体的两个区段之间的差压。压力传感器也可配置为使得，第二隔膜测量在差压被第一隔膜所读出时由基座经受的共模误差。电连接器可被配置为使得，差压基于第一隔膜和第二隔膜的读数而输出共模误差校正差压。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 有共模 误差 补偿 传感器 | ||
【主权项】：
一种差压传感器，包括：传感器壳体，所述传感器壳体包括在其中具有孔洞的基板，其中所述基板的第一侧配置为与第一压力的第一流体形成流体连通，并且所述基板的第二侧配置为与第二压力的第二流体形成流体连通；第一压力感测基座组件，所述第一压力感测基座组件附接至所述基板，所述第一压力感测基座组件包括：(1)第一压力感测基座，所述第一压力感测基座包括第一隔膜，所述第一隔膜具有配置为与所述第一流体形成流体连通的上侧、和配置为与所述基板中的孔洞和所述第二流体形成流体连通的下侧；以及(2)至少一个压敏电元件，所述至少一个压敏电元件形成在所述第一隔膜上或所述第一隔膜中，并且配置为响应于表示第一压力和第二压力之间的差压的所述第一隔膜的变形而呈现变化的阻值；第二压力感测基座组件，所述第二压力感测基座组件附接至所述基板，所述第二压力感测基座组件包括：(1)第二压力感测基座，所述第二压力感测基座包括第二隔膜，所述第二隔膜具有配置为与所述第一流体形成流体连通的上侧、和配置为与所述第一流体形成流体连通的下侧；以及(2)至少一个压敏电元件，所述至少一个压敏电元件形成在所述第二隔膜上或所述第二隔膜中，并且配置为响应于表示对应于所述第二压力感测基座组件的共模误差的所述第二隔膜的变形而呈现变化的阻值；一个或多个电导体，电连接到所述第一隔膜的所述至少一个压敏电元件和所述第二隔膜的所述至少一个压敏电元件中的一个或两个。
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