[发明专利]一种连续蒸镀系统有效
| 申请号： | 201710718862.1 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107488831B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44280 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 钟子敏<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续蒸镀系统，该系统包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚内存储蒸镀材料，所述蒸镀坩埚顶部设有蒸镀出口；存储坩埚，所述存储坩埚内存储蒸镀材料；传输管，所述传输管的一端连接所述存储坩埚，另一端连接所述蒸镀坩埚；阀门，所述阀门设置在所述传输管的管路上；温度控制装置，所述温度控制装置与所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管连接，用于控制所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管的温度。本发明的连续蒸镀系统避免了传统的降温添料升温工序，降低了基板发生污染的可能，也提高了生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸镀 存储 传输管 温度控制装置 一端连接 蒸镀材料 蒸镀系统 阀门设置 生产效率 升温工序 传统的 阀门 基板 生产成本 污染 出口 | ||
【主权项】：
1.一种连续蒸镀系统，其特征在于，包括：/n蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚内存储蒸镀材料，所述蒸镀坩埚顶部设有蒸镀出口；/n存储坩埚，所述存储坩埚内存储蒸镀材料；其中，所述蒸镀材料为熔融型材料；/n传输管，所述传输管的一端连接所述存储坩埚的底部，另一端连接所述蒸镀坩埚的中上部；/n阀门，所述阀门设置在所述传输管的管路上；/n温度控制装置，所述温度控制装置与所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管连接，用于控制所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管的温度；所述温度控制装置的数量为3个，包括加热丝与温度显示器，所述加热丝缠绕在所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管的外表面；其中，整个连续蒸镀过程无需降温；/n挡板、所述挡板设置于所述蒸镀出口的上方；/n所述蒸镀坩埚和存储坩埚还包括蒸镀材料检测器，所述蒸镀材料检测器位于所述蒸镀坩埚和存储坩埚内部。/n
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