[发明专利]生产磁性结构的方法有效
申请号: | 201710717498.7 | 申请日: | 2017-08-21 |
公开(公告)号: | CN107765195B | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 托马斯·李赛克;费边·罗芬克 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
主分类号: | G01R33/00 | 分类号: | G01R33/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋融冰 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种装置以及一种制造装置的方法,除其他之外,所述方法包括:提供基板(10)并在基板(10)内生成至少两个相互空间隔离的腔体(11a、11b)。根据本发明,每个腔体(11)具有至少50μm的深度(l)。以磁粒子(12)填充满腔体(11),其中磁粒子(12)在接触点处开始彼此接触,以及其中腔体形成在接触点之间。特别地通过涂覆所述磁粒子(12),所述磁粒子(12)的至少一些在其接触点处彼此相连,其中所述腔体被在涂覆工艺中产生的层至少部分地穿透,从而相连的磁粒子(12)形成磁性多孔结构(13)。 | ||
搜索关键词: | 生产 磁性 结构 方法 | ||
【主权项】:
一种方法,包括:提供基板(10)并在所述基板(10)内产生至少两个相互空间隔离的腔体(11a、11b),每个腔体(11)具有至少50μm的深度(l);以磁粒子(12)填满腔体(11),其中所述磁粒子(12)在接触点处开始彼此接触,以及其中腔体形成在所述接触点之间;以及通过涂覆所述磁粒子(12)而将所述磁粒子(12)的至少一些在其接触点处相连,其中所述腔体被在涂覆期间产生的层至少部分地穿透,从而相连的磁粒子(12)形成磁性多孔结构(13)。
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