[发明专利]一种压电驱动式三级位移放大微夹持器

摘要

本发明公开了一种压电驱动式三级位移放大微夹持器，包括基体I，压电陶瓷驱动器，桥型放大机构，基体II，两个杠杆机构I，两个杠杆机构II和预紧螺栓；压电陶瓷驱动器通过预紧螺栓安装在所述桥型放大机构中，桥型放大机构包括位于压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的两个桥型柔性铰链机构和连接两个桥型柔性铰链机构的横梁，桥型柔性铰链机构各由柔性铰链和三个连杆组成，桥型放大机构下侧与基体I连接；杠杆机构I由柔性铰链和一个刚性杆组成，两个杠杆机构I分别通过下侧的柔性铰链与所述桥型放大机构的左右两侧连接；杠杆机构II由柔性铰链、一个刚性杆和钳口组成。本发明具有较大位移放大倍数，能够实现三级位移放大功能。

主权项

一种压电驱动式三级位移放大微夹持器，其特征在于，包括基体I，压电陶瓷驱动器，桥型放大机构，基体II，两个杠杆机构I，两个杠杆机构II和预紧螺栓；所述压电陶瓷驱动器通过所述预紧螺栓安装在所述桥型放大机构中，所述桥型放大机构包括位于所述压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的两个桥型柔性铰链机构和连接两个桥型柔性铰链机构的横梁，所述桥型柔性铰链机构各由柔性铰链和三个连杆组成，所述桥型放大机构下侧与基体I连接；所述杠杆机构I由柔性铰链和一个刚性杆组成，两个所述杠杆机构I分别通过下侧的柔性铰链与所述桥型放大机构的左右两侧连接，两个所述杠杆机构I中部的柔性铰链与基体I连接；所述杠杆机构II由柔性铰链、一个刚性杆和钳口组成，两个所述杠杆机构II分别与同侧的杠杆机构I通过柔性铰链连接，所述杠杆机构II的下部通过柔性铰链与基体II连接；所述基体I上设有四个安装孔，所述基体II上设有一个安装孔。