[发明专利]基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置及方法有效
| 申请号： | 201710672624.1 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107589104B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 闫永达;张景然;耿延泉;蔡建雄 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置及方法，所述所述实验装置包括XY向精密移动控制器、Z向精密移动台控制器、纳米精度工作台、力传感器、金刚石探针、样品、宏动精密工作台，所述金刚石探针由纳米精度工作台经过力传感器带动进行Z向的运动；金刚石探针与样品之间的力信号由Z向精密移动台控制器上下移动控制；样品由XY向精密移动控制器经过宏动精密工作台带动在X‑Y平面内做二维运动。本发明加工过程中探针连续进行微刻划、压痕过程，同时带动样件的工作台作二维平动，实现高效、大范围的周期性阵列微纳结构的加工；加工过程中探针的垂直载荷实时改变，实现复杂的微纳结构的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 调制 刻划 压痕 过程 制备 增强 基底 阵列 纳米 结构 实验 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置，其特征在于所述实验装置包括XY向精密移动控制器、Z向精密移动台控制器、纳米精度工作台、力传感器、金刚石探针、样品、宏动精密工作台，其中：所述金刚石探针由纳米精度工作台经过力传感器带动进行Z向的运动；所述金刚石探针与样品之间的力信号由Z向精密移动台控制器上下移动控制；所述样品由XY向精密移动控制器经过宏动精密工作台带动在X‑Y平面内做二维运动。
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