[发明专利]用于刻蚀连续产品的设备和方法在审
| 申请号： | 201710669517.3 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107435148A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 张洪涛;李涛;谭化兵 | 申请（专利权）人： | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C01B32/184 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙)11686 | 代理人： | 肖淑芳,郝文博 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于刻蚀连续产品的设备，所述连续产品包括连续的基底和生长在所述基底上的石墨烯，所述设备包括供送装置，用于供送所述连续产品；刻蚀装置，设置在所述供送装置的下游，用于接收所述连续产品，其中所述刻蚀装置容纳有刻蚀药水，当所述连续产品穿过所述刻蚀装置时，所述刻蚀药水将所述连续基底去除。本发明还提供一种刻蚀连续产品的方法，所述连续产品包括连续的基底和生长在所述基底上的石墨烯，所述方法包括将包括连续基底和石墨烯的所述连续产品供送通过刻蚀药水，以去除所述连续产品上的所述基底。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刻蚀 连续 产品 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于刻蚀连续产品的设备，所述连续产品包括连续基底和生长在所述连续基底上的石墨烯，所述设备包括：供送装置，用于连续地供送所述连续产品；刻蚀装置，设置在所述供送装置的下游，用于接收所述连续产品，其中所述刻蚀装置容纳有刻蚀药水，当所述连续产品穿过所述刻蚀装置时，所述刻蚀装置将刻蚀药水施加到所述连续产品上以将所述连续基底去除。
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