[发明专利]一种基于TPoS谐振器的温度计及温度测量方法在审
申请号: | 201710665979.8 | 申请日: | 2017-08-07 |
公开(公告)号: | CN107246923A | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 李昕虎 | 申请(专利权)人: | 李昕虎 |
主分类号: | G01K7/32 | 分类号: | G01K7/32 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)33240 | 代理人: | 杜军 |
地址: | 310023 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于TPoS谐振器的温度计及温度测量方法。目前基于石英晶体传感器的温度测量系统稳定性不高、传感器尺寸较大。本发明的温度计包括两个TPoS谐振器、三个运算放大器、混频器、低通滤波器、频率电压转换器、负载电阻。本发明通过两个不同晶向的TPoS谐振器表现出不同的频率温度特性曲线,在校准温度下频率相同,当温度发生变化,两个TPoS谐振器会产生频率差,根据该频率差得到温度的变化量,实现温度测量。本发明优点在于TPoS谐振器工作频率可以在数百MHz,因此具有更高的温度分辨率,并且两个谐振器的位置相邻,且可以与外围电路实现通过PCB电路实现或通过单芯片集成,因此整体面积较小,温度一致性更高。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 tpos 谐振器 温度计 温度 测量方法 | ||
【主权项】:
一种基于TPoS谐振器的温度计,包括两个TPoS谐振器、三个运算放大器、混频器、低通滤波器、频率电压转换器、负载电阻;其特征在于:第一TPoS谐振器(11)的一端接第一运算放大器(21)的输入端,第一TPoS谐振器(11)的另一端和第一运算放大器(21)的输出端接混频器(3)的一个输入端;第二TPoS谐振器(12)的一端接第二运算放大器(22)的输入端,第二TPoS谐振器(12)的另一端和第二运算放大器(22)的输出端接混频器(3)的另一个输入端;混频器(3)的输出端接低通滤波器(4)的输入端,低通滤波器(4)的输出端接频率电压转换器(5)的输入端,频率电压转换器(5)的输出端接第三运算放大器(23)的输入端,负载电阻(6)的一端接地,第三运算放大器(23)的输出端与负载电阻(6)的另一端相接,作为温度示数输出端;所述的第一运算放大器(21)和第二运算放大器(22)采用相同的运算放大器电压放大特性一致;所述的第一TPoS谐振器(11)和第二TPoS谐振器(12)处于同一硅基片上;两个TPoS谐振器的准静止中轴的夹角为θ,0°<θ<90°;两个TPoS谐振器的单晶硅谐振块长度分别为L1和L2,L1≠L2。
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