[发明专利]样本气体检测方法有效

专利信息
申请号: 201710656036.9 申请日: 2012-06-28
公开(公告)号: CN107561202B 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 内山新士 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N30/64 分类号: G01N30/64;G01N27/70
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 肖华
地址: 日本国京都府京*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的放电电离电流检测器防止样本气体侵入至等离子体生成部,以使得等离子体生成部中的等离子体强度稳定。电介质管(3)的一端向框体(16)内的空间(14)侧突出。由于具有电介质管(3)的突出部分(3a),电介质管(3)的等离子体生成气体喷出口与等离子体生成部(1)的之间的距离变长。
搜索关键词: 样本 气体 检测 方法
【主权项】:
一种放电电离电流检测器,其特征在于,包括:等离子体生成气体流动的电介质管;等离子体生成部,所述等离子体生成部是所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向上的一个区间,其具有多个放电用电极,所述多个放电用电极以包围所述电介质管外周的形态沿着等离子体生成气体的流动方向彼此具有间隔地设置在所述电介质管的外周面上,所述等离子体生成部通过使得在所述放电用电极间发生电介质阻挡放电而生成等离子体;框体,所述框体设置有:用于连接所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向的下游侧的端部的电介质管连接部、具有比所述电介质管大的内径的空间、设置在与所述电介质管连接部相对的位置且用于将样本气体导入至所述空间内的样本气体导入口、以及用于排出所述空间内的气体的排出口;样本电离部,所述样本电离部设置在所述框体内,通过来自所述等离子体生成部的光能对样本成分进行电离;电离电流检测部,所述电离电流检测部用于检测在所述样本电离部中被电离了的样本成分;调节在所述电介质管中流动的等离子体生成气体的流量的机构;以及调节被导入至所述空间内的样本气体的流量的机构,所述电介质管的所述等离子体生成气体的流动方向的下游侧的一端向所述框体内部的空间侧突出,所述两机构将各自的流量调节成:被导入至所述框体中的样本气体无法经过所述电介质管的所述突出部分而到达所述电介质管内的所述等离子体生成部。
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