[发明专利]用于涂敷衬底的设备有效
| 申请号： | 201710647150.5 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107686978B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 唐·德克斯;戴夫·多沃尔德;吕德·雅各布斯;马尔金·格坦 | 申请（专利权）人： | 豪泽尔涂层技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于涂敷衬底的设备，包括真空腔室，具有开口和门，通过开口能够容纳衬底，以及门配置成密封开口；一个或多个靶，布置在真空腔室中；配置成冷却衬底的冷却单元和/或配置成加热衬底的加热单元；旋转装置，配置成相对于一个或多个靶、冷却单元和/或加热单元旋转衬底；和提升腔室，与真空腔室的内部连通并且配置成容纳冷却单元和/或加热单元。真空腔室限定提升轴，沿着提升轴布置冷却单元和/或加热单元和提升腔室，和该设备还包括位移装置，配置成沿着提升轴以及在真空腔室和提升腔室之间使冷却单元和/或加热单元移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 设备 | ||
【主权项】：
一种用于涂覆衬底(12)的设备(10)，包括：真空腔室(14)，具有开口(44)和门(18)，所述衬底(12)通过所述开口(44)能够被容纳，以及所述门(18)配置成密封所述开口(44)；一个或多个靶(22)，布置在所述真空腔室(14)内；冷却单元(20、34、36)和/或加热单元(26)，所述冷却单元(20、34、36)配置成冷却所述衬底(12)以及所述加热单元(26)配置成加热所述衬底(12)；旋转装置，配置成使衬底(12)相对于所述一个或多个靶(22)、所述冷却单元(20、34、36)和/或所述加热单元(26)旋转；和提升腔室(40)，与所述真空腔室(14)的内部连通并且配置成容纳所述冷却单元(20、34、36)和/或所述加热单元(26)；其中所述真空腔室(14)限定提升轴(X)，所述冷却单元(20、34、36)和/或所述加热单元(26)，和所述提升腔室(40)沿着所述提升轴(X)布置；和其中所述设备(10)还包括位移装置(42、66、68)，配置成使所述冷却单元(20、34、36)和/或所述加热单元(26)沿着所述提升轴以及在所述真空腔室(14)和所述提升腔室之间移动。
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