[发明专利]一种产生短波长深紫外激光的装置

摘要

本发明提供一种产生短波长深紫外激光的装置，包括：泵浦源、第一激光变频系统、第二激光变频系统、分束镜、倍频系统以及和频系统，所述泵浦源发射的激光经过所述第一激光变频系统后，得到第一预设频率的第一激光源；所述第一激光源发射的激光经所述分束镜后，分束成频率相等的第一激光和第二激光；所述第一激光经过倍频系统的2倍频后射入所述第二激光变频系统，得到第二预设频率的第二激光源；所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第二激光在所述真空和频系统中和频或所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第一激光在所述倍频系统的2倍频后在真空中和频，得到调频范围较宽的深紫外激光。

主权项

1.一种产生短波长深紫外激光的装置，其特征在于，包括：泵浦源、第一激光变频系统、第二激光变频系统、分束镜、倍频系统以及真空和频系统，其中，所述泵浦源发射的激光经过所述第一激光变频系统后，得到第一预设频率的第一激光源；所述第一激光源发射的激光经所述分束镜后，分束成频率相等的第一激光和第二激光；所述第一激光经过倍频系统的2倍倍频后射入所述第二激光变频系统，得到第二预设频率的第二激光源；所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第二激光在所述真空和频系统中和频，或所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第一激光在所述倍频系统的2倍频后在真空中和频，得到需要的深紫外激光；所述和频系统包括：第一和频晶体和第二和频晶体，其中，所述第一和频晶体，用于接收所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍倍频后的激光，以及所述第二激光，并对接收到的两束激光进行和频，得到第一深紫外激光；所述第二和频晶体，用于接收第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍倍频后的激光，以及所述第一激光在所述倍频系统的2倍倍频后激光，并对接收到的两束激光进行和频，得到第二深紫外激光；所述第一深紫外激光调谐范围为147‑151.8nm，所述第二深紫外激光的调谐范围为159.4‑177.1nm。