[发明专利]晶圆充气负载平台的控制方法在审
| 申请号： | 201710611564.2 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109298737A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 吕思纬;陈勇州;古伊钧;林祺浩 | 申请（专利权）人： | 华景电通股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 刘国伟;武玉琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆充气负载平台的控制方法，包括：接收一主控端的充气命令；判断载体是否设置在负载平台上；开阀以执行充气动作；判断开阀是否成功；若开阀成功，回报一事件至主控端；以及等待所述主控端的一关阀命令。本发明的晶圆负载平台的控制方法，是利用检测多个传感器的感测信号以确认载体是否设置在负载平台上。并且通过晶圆负载平台系统中的各个传感器以及调控装置，对充气系统进行稳定且有效的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 负载平台 充气 晶圆 开阀 传感器 主控 充气系统 调控装置 感测信号 主控端 关阀 种晶 成功 回报 检测 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆充气负载平台的控制方法，其特征在于，包括：接收一主控端的充气命令；判断一载体是否设置在一负载平台上；开阀以执行一充气动作；判断开阀是否成功；若开阀成功，回报一事件信息至所述主控端；以及等待所述主控端的一关阀命令。
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