[发明专利]水冷式表面波等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201710609211.9 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107683010B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘铉钟;秋愿壹 | 申请（专利权）人： | 韩国基础科学支援研究院 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种水冷式表面波等离子体发生装置。水冷式表面波等离子体发生装置的特征在于包括：传输电磁波的导波管、一端部与所述导波管电磁耦合使得在所述导波管内传输的电磁波能够流入的电介质管、具有中空的管形状，包覆所述电介质管的整个或部分长度使得管的内面接触所述电介质管的外面，具有位于管的内面及外面之间使从管的外部注入的冷却流体沿着管的长度方向及圆周方向移动的第一冷却流路的冷却护套；与所述电介质管连接成能够疏通流体以向所述电介质管的内部注入放电气体的放电气体注入部。本发明的水冷式表面波等离子体发生装置解决了用于冷却电介质管的冷却流体泄漏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷 表面波 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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