[发明专利]一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵

摘要

本发明提出了一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，旨在提高微泵泵送量，同时降低驱动电压，简化微泵结构，提高微泵在工作时的可靠性，包括上盖板、进口阀、上框架、泵膜、下框架、下盖板和出口阀。上盖板固定在上框架上表面，其上设置有进口阀口，进口阀安装在该阀口的下端，下盖板固定在下框架下表面，其上设置有出口阀口，出口阀安装在该阀口的下端；所述泵膜由第一导电层、第一介质层、第二导电层、驱动电极、第三导电层和第二介质层复合而成，固定在上框架和下框架之间，形成容积可变的泵腔。本发明微泵在低驱动电压下可实现泵腔容积的大变形，响应时间快，同时具有绿色环保的特性，可用于流体微量传送系统中。

主权项

1.一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，其特征在于，包括上盖板(1)、进口阀(2)、上框架(3)、泵膜(4)、下框架(5)、出口阀(6)和下盖板(7)；所述泵膜(4)固定在上框架(3)和下框架(5)之间，形成容积可变的泵腔，该泵膜(4)采用复合薄膜，由第一导电层(31)、第一介质层(32)、第二导电层(33)、驱动电极(34)、第三导电层(35)和第二介质层(36)复合而成，用于实现泵腔容积的扩张与收缩，其中第一介质层(32)采用记忆性材料，驱动电极(34)采用压电材料；所述上盖板(1)固定在上框架(3)上表面，其上设置有进口阀口，通过进口阀(2)控制液体的泵入；所述下盖板(7)固定在下框架(5)下表面，其上设置有出口阀口，通过出口阀(6)控制液体的泵出；所述第二介质层(36)位于泵腔一侧。