[发明专利]振动传感器和用于制造振动传感器的方法有效
| 申请号： | 201710560356.4 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107631794B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 福尔克·奥尔盖耶;多米尼克·费伦巴赫 | 申请（专利权）人： | VEGA格里沙贝两合公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 曹正建;陈桂香 |
| 地址： | 德国沃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振动传感器(1)，该振动传感器具有能通过驱动装置激励出振动的薄膜(5)和布置在薄膜(5)上的机械振动器(7)，其中，该机械振动器包括具有至少一个封闭的内部空间的外罩(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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