[发明专利]一种薄膜电阻阻值调节装置及其调节方法

摘要

本发明提供了一种薄膜电阻阻值调节装置及其调节方法，该装置包括加压结构，加压结构包括依次串联的第一探针、电流表、电源、电位器、开关和第二探针，加压结构还包括用于测量电阻值的万用表，加压结构配置有用于加热的电加热板。该调节方法集成了阳极氧化和热氧化的优点，既克服了热氧化调阻精度差的特点，达到了阳极氧化调阻的精度；又避免了阳极氧化过程中涂覆电解液的繁琐操作，节省了操作时间，使自动化操作成为可能。

主权项

1.一种薄膜电阻阻值调节装置的调节方法，其特征在于，薄膜电阻阻值调节装置包括加压结构，加压结构包括依次串联的第一探针、电流表、电源、电位器、开关和第二探针，加压结构还包括用于测量电阻值的万用表；所述加压结构配置有用于加热的电加热板；调节方法包括以下步骤：步骤1：将薄膜电路放置在电加热板上，将第一探针和第二探针分别连接到待调节的薄膜电阻的两端，万用表也连接在待调节的薄膜电阻的两端；步骤2：电加热板的加热温度设置为200℃，电加热板对电路进行预加热；步骤3：通过电位器逐渐加压，观察电流表，直到达到设定的电流值；步骤4：待调节的薄膜电阻在电流的热效应作用下受热，使电阻温度上升，电阻在420至600℃的温度下持续受热，从而达到阻值升高的目的；步骤5：当万用表中电阻值达到要求值时，断开开关，阻值调节完毕。