[发明专利]全集成式红外气体传感器及其工作方法有效
| 申请号： | 201710540697.5 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107328730B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 胡少勤;杨靖;张祖伟;马晋毅;袁宇鹏;马恺祺 | 申请（专利权）人： | 中电科技集团重庆声光电有限公司;中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 50221 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘佳<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 401332 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开一种全集成式红外气体传感器，包括：压电微泵层、气孔层、光腔层、电路层、红外光源、滤光片及红外敏感元，所述电路层用于输出周期性电压时序控制信号至压电微泵层以控制所述压电微泵层进行上抬或下压动作，当所述压电微泵层下压且完全遮蔽气孔层上的气孔时，所述电路层还用于输出控制信号至红外光源以使得所述红外光源发出红外光，所述滤光片用于滤除非被测气体红外特征吸收波段的红外光，所述红外敏感元用于将经过滤光片滤除及经过被测气体吸收之后的红外光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种全集成式红外气体传感器的工作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 红外 气体 传感器 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种全集成式红外气体传感器，包括：压电微泵层、气孔层、光腔层、电路层、红外光源、滤光片及红外敏感元，所述气孔层上设置有若干气孔，所述光腔层上设置有若干微型光槽；所述红外光源及红外敏感元均设置于电路层上，所述气孔层与光腔层相连以形成集成气室，所述压电微泵层设置于气孔层上背离光腔层的一面，且所述压电微泵层的两侧支角连接于气孔层上背离光腔层的一面，所述电路层位于光腔层上背离气孔层的一面，所述电路层还与压电微泵层电连接，所述电路层用于输出周期性电压时序控制信号至压电微泵层以控制所述压电微泵层进行上抬或下压动作，当所述压电微泵层下压且完全遮蔽气孔层上的气孔时，所述电路层还用于输出控制信号至红外光源以使得所述红外光源发出红外光，所述滤光片用于滤除非被测气体红外特征吸收波段的红外光，所述红外敏感元用于将经过滤光片滤除及经过被测气体吸收之后的红外光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。/n
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