[发明专利]一种尾气处理监控方法及系统

摘要

本发明公开了一种尾气处理监控方法，包括步骤：主设备检测其当前的设备状态，并根据当前设备状态生成对应的状态信号，并发送所述状态信号至尾气处理设备；尾气处理设备接收所述状态信号，并根据所述状态信号启动相对应的处理模式；尾气处理设备根据对应的所述处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为对应的预设值；尾气处理设备根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理。本发明提供一种尾气处理监控方法及系统，根据主设备的不同设备状态实现节能处理模式和普通处理模式的切换，来实现更好的控制和节约资源的目的。

主权项

1.一种尾气处理监控方法，适用于TFT‑LCD制造行业中，其特征在于，包括步骤：主设备检测其当前的设备状态，并根据当前设备状态生成对应的状态信号，并发送所述状态信号至尾气处理设备；尾气处理设备接收所述状态信号，并根据所述状态信号启动相对应的处理模式；所述设备状态包括第一状态和第二状态；所述状态信号包括第一状态信号和第二状态信号；所述处理模式包括节能处理模式和普通处理模式；尾气处理设备根据对应的所述处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为对应的预设值，所述预设值包括第一预设值和第二预设值；所述第二预设值大于所述第一预设值；所述第一状态、所述第一状态信号、所述节能处理模式以及所述第一预设值分别对应；所述第二状态、所述第二状态信号、所述普通处理模式以及所述第二预设值分别对应；尾气处理设备根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理；其中，主设备包括干法刻蚀设备和化学气相沉积设备；对于干法刻蚀设备，判断其第一状态的方式为判断在预设的时间内是否有基板，若在预设的时间内无基板搬入，则说明干法刻蚀设备不生产为待料状态，即为需要节能处理模式的第一状态；对于化学气相沉积设备，判断其第一状态的方式为判断在预设的时间内是否有基板或是否有气流，若均无，则说明化学气相沉积设备不生产为待料状态，即为需要节能处理模式的第一状态；所述第二状态的判断具体包括：若主设备在预设的时间内接收到有基板搬入，则说明主设备为来料状态，需要普通处理模式的第二状态；或者当操作人员手动执行普通处理模式切换时，主设备接收到操作人员输入的手动信号，主设备为需要普通处理模式的第二状态；或者检测是否有预设的需要执行普通处理模式的执行信号，当需要执行操作时，认为其处于第二状态，且采用普通处理模式。