[发明专利]一种离子导引装置及导引方法有效
申请号: | 201710512171.6 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN109216150B | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 程玉鹏;张小强;孙文剑 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 高园园 |
地址: | 日本国京都府*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种离子导引装置及导引方法,包括第一电极组件,包括沿一空间轴放置的两个平行电极单元;第二电极组件,包括在所述平行电极单元之间的某一平面上沿所述空间轴放置的至少两个不平行的电极单元;所述第一电极组件和所述第二电极组件包围的空间形成沿所述空间轴向的离子传输通道;电源装置,用于在第一电极组件和第二电极组件上施加极性不同的射频电压,以在垂直于所述空间轴的方向上产生射频电场来束缚离子,以及在所述第一电极组件和所述第二电极组件上分别施加直流电压并产生一定直流电压差,以在沿所述空间轴的方向产生直流电场来控制离子运动。本发明的离子导引装置及导引方法实现了弯曲的离子导引结构并提供了轴向和径向的电场。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 导引 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种离子导引装置,其特征在于:包括第一电极组件,包括沿一空间轴放置的两个平行电极单元;第二电极组件,包括在所述平行电极单元之间的某一平面上沿所述空间轴放置的至少两个不平行的电极单元;所述第一电极组件和所述第二电极组件包围的空间形成沿所述空间轴向的离子传输通道;电源装置,用于在所述第一电极组件和所述第二电极组件上施加极性不同的射频电压,以在垂直于所述空间轴的方向上产生射频电场来束缚离子,以及在所述第一电极组件和所述第二电极组件上分别施加直流电压并产生一定直流电压差,以在沿所述空间轴的方向产生直流电场来控制离子运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所,未经株式会社岛津制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710512171.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。