[发明专利]用于形成圆筒状标靶组件的方法及装置

摘要

本申请公开了用于形成圆筒状标靶组件的方法及装置。本发明的实施例大体包含用于制备圆筒状溅射标靶管且将圆筒状溅射标靶管接合至背衬管以形成旋转标靶组件的方法及装置。在一个实施例中，圆筒状标靶组件包括接合材料，该接合材料具有圆筒状表面且与背衬管大致上同心。在一个实施例中，用于形成圆筒状标靶组件的方法包括用间隔物填充界定于溅射标靶管之间的缝隙。该方法还包括在将所述溅射标靶管接合至背衬管后移除该间隔物。在一个实施例中，用于制造圆筒状标靶组件的装置包含支撑管、两个端配件及可操作以将所述支撑管夹持于所述两个端配件之间的多个夹持元件。

主权项

一种圆筒状标靶组件，包括：背衬管；至少两个溅射标靶管；所述标靶管的外壁直径；缝隙，所述缝隙界定于相邻标靶管之间；以及接合材料，所述接合材料将所述标靶管固定至所述背衬管，所述接合材料在所述缝隙中形成圆筒状表面，所述圆筒状表面与所述背衬管大致上同心且在所述外壁直径内侧与所述外壁直径相隔开。