[发明专利]非球面变焦系统及照明光学系统有效
| 申请号： | 201710498808.0 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107144947B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 李美萱;王美娇;阚晓婷;刘喆;李晓奇;于玥;赵迎 | 申请（专利权）人： | 吉林工程技术师范学院 |
| 主分类号： | G02B15/167 | 分类号： | G02B15/167;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 唐维虎<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非球面变焦系统及照明光学系统，属于光刻照明技术领域。该非球面变焦系统包括：沿第一方向依次同光轴设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组。第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组中至少一个透镜具有非球面。第一透镜组包括依次设置的第一正透镜、第二正透镜和第一负透镜。第二透镜组包括依次设置的第三正透镜和第四正透镜，第三正透镜和第四正透镜能够沿光轴移动以调节系统的焦距。第三透镜组包括依次设置的第二负透镜和第五正透镜。该非球面变焦系统能够有效地提高成像质量及能量透过率。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 变焦 系统 照明 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种非球面变焦系统，其特征在于，包括：沿第一方向依次同光轴设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组中至少一个透镜具有非球面；/n所述第一透镜组，包括沿所述第一方向依次设置的第一正透镜、第二正透镜和第一负透镜；/n所述第二透镜组，包括沿所述第一方向依次设置的第三正透镜和第四正透镜，所述第三正透镜和所述第四正透镜能够沿所述光轴移动以调节所述系统的焦距；/n所述第三透镜组，包括沿所述第一方向依次设置的第二负透镜和第五正透镜；/n入射的光束依次经所述第一正透镜、所述第二正透镜、所述第一负透镜、所述第三正透镜、所述第四正透镜、所述第二负透镜以及所述第五正透镜出射；/n其中，所述非球面变焦系统的入瞳直径为42毫米，视场角为1.89度，焦距范围为700mm～1830mm，变倍比为2.61。/n
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