[发明专利]光干涉测定装置和光干涉测定方法有效
| 申请号： | 201710458539.5 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN107525463B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 长滨龙也;本桥研;H·海特杰马;J·奎达克尔斯 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具备参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光干涉测定装置，其特征在于，具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具有参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的所述光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被所述参考镜反射的反射光和被在所述测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由所述合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在所述干涉物镜与所述光源及所述摄像单元之间的光路上沿所述干涉物镜的光轴方向移动。
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