[发明专利]基于微波贴片谐振器的葡萄糖定量测试传感器及制备方法

摘要

本发明公开一种基于微波贴片谐振器的葡萄糖定量测试传感器及制备方法，本方法制备的传感器解决了微波器件测量葡萄糖浓度时的不准确性问题，首先在半导体基板正面上制作贴片谐振器和共面波导馈线的样本贴片，然后在含有样本贴片基板的正面制作SU‑8光阻胶的围墙结构，或者在含有样本贴片基板的背面制作凹槽结构。本发明采用谐振频率和反射系数作为检测参数，实现了不超过一秒的检测反应时间、高灵敏度和可重复利用特性，克服了基于微波器件的生物传感器普遍存在的不能定量测试的弊端。

主权项

1.一种基于微波贴片谐振器的葡萄糖定量测试传感器的制备方法，首先在半导体基板正面上制作贴片谐振器和共面波导馈线的样本贴片，然后在含有样本贴片基板的正面制作SU‑8光阻胶的围墙结构，其特征在于，包括如下具体制作步骤：步骤(1)基板表面进行亲水化处理；步骤(2)应用等离子体对基板进行表面清洁处理；步骤(3)在基板正面上使用SU‑8光阻胶材料进行旋转涂胶，从而得到致密性高、无空洞结构、无分叶层的SU‑8光刻胶层；步骤(4)软烘去除SU‑8光阻胶中的水成分，然后利用紫外线对SU‑8光阻胶材料进行曝光，在基板正面上形成SU‑8光阻胶的围墙结构，所述的围墙结构应完全包围贴片谐振器，而共面波导馈线的位置则需要在围墙结构之外，再硬烘焙以完全蒸发掉SU‑8光刻胶里面剩余的溶剂，接着使用SU‑8专用显影液浸泡基板进行显影；步骤(5)使用去离子水溶液清洗基板表面杂质；步骤(6)硬烘，增强SU‑8光阻胶与半导体基板之间的粘合力。