[发明专利]一种新型酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统

摘要

本发明公开一种新型酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统，将酸性蚀刻液经收集后，进入反应槽，加入硫酸反应后形成高酸含铜溶液，再进入扩散渗析槽，于扩散渗析槽分离得高浓度盐酸和硫酸铜和少量氯化铜溶液，盐酸经收集后返回蚀刻产线利用，硫酸铜和少量氯化铜溶液经冷冻结晶分离得五水硫酸铜粗产品和氯化铜溶液，五水硫酸铜粗产品再经重结晶提纯得高品质的五水硫酸铜。制得的五水硫酸铜的品质高，具有更好经济效益；回收处理过程中不产生氯气，环保效果好，具有较好的环境效益。制得的五水硫酸铜会带走一部分水份，溶液体积膨胀小。本方法能耗低，运营成本低，工艺简单易操作。

主权项

一种新型酸性蚀刻液资源回收利用方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将待处理的酸性蚀刻废液收集至蚀刻液收集槽中；2)将蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液加入反应槽，再加入硫酸，反应后形成高酸含铜溶液，3)将高酸含铜溶液放入扩散渗析槽内，在扩散渗析槽内用扩散渗析法将高酸含铜溶液分离，得高浓度盐酸溶液和硫酸铜与少量氯化铜的混合溶液；4)将所述盐酸收集并返回至蚀刻产线进行再利用，将硫酸铜与少量氯化铜的混合溶液经冷冻结晶分离得五水硫酸铜粗产品和氯化铜溶液；5)将所述五水硫酸铜粗产品再经重结晶提纯得高品质的五水硫酸铜。