[发明专利]一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法在审

专利信息
申请号: 201710444460.7 申请日: 2017-06-13
公开(公告)号: CN107267935A 公开(公告)日: 2017-10-20
发明(设计)人: 陈伟 申请(专利权)人: 深圳市鼎新光电有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/54
代理公司: 深圳力拓知识产权代理有限公司44313 代理人: 李伟
地址: 518055 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法,包含以下步骤A、增大离子源加速电压;B、增加离子束电流,本发明的有益效果是1、通过增大离子源加速电压可以提高离子源能量;2、通过增加离子束电流可以提高离子束密度,使单位面积内的离子源能量增大通过单位面积内离子源能量增大提高膜层致密度,使内圈镜片变透亮。
搜索关键词: 一种 改善 镀膜 外圈 均匀 方法
【主权项】:
一种改善镀膜伞内外圈雾度均匀性的方法,其特征在于,包含以下步骤:A、增大离子源加速电压;B、增加离子束电流。
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