[发明专利]位置探测器

摘要

在用于将彼此在相位上移动90度的两个信号转换成位置信息的位置探测器中，用于计算相位校正值的相位校正值计算器，计算代表在相位校正值中的改变的相位改变，以基于相位改变值和当前相位校正值获得下一相位校正值，其中相位校正值用于校正两个信号之间的相位差。虚拟改变值计算器基于通过半径值的傅里叶分析获得的二阶分量来计算虚拟相位改变值和虚拟振幅改变值，所述虚拟相位改变值代表在忽略偏移和振幅比中的改变时获得的相位校正值中的另一个改变，虚拟振幅改变值代表在忽略相位差中的改变时获得的振幅比校正值中的改变率。相位校正值计算器基于偏移改变值、半径值、虚拟相位改变值和虚拟振幅改变值计算相位改变值。

主权项

一种位置探测器，所述位置探测器用于将从位置传感器输出的两个信号转换成位置信息，所述两个信号相对于测得的位移在波长λ的间距处正弦地改变并且具有彼此移动90度的相位，所述位置探测器包括：存储器，所述存储器分别存储了用于校正包含在所述两个信号中的偏移量的偏移校正值、用于校正在所述两个信号之间的相位差的相位校正值、以及用于校正在所述两个信号之间的振幅比的振幅比校正值；偏移消除器，所述偏移消除器基于所述偏移校正值中的对应的一个偏移校正值消除来自所述两个信号中的对应的一个信号的偏移量中的每个偏移量；相位误差消除器，所述相位误差消除器基于所述相位校正值消除来自所述两个信号中的一个信号的相位误差分量；振幅比误差消除器，所述振幅比误差消除器基于所述振幅比校正值消除来自所述两个信号中的所述一个信号的振幅比误差分量；插值计算器，所述插值计算器将已经经过对所述偏移量、所述相位误差分量、以及所述振幅比误差分量的消除处理的所述两个信号转换成位置信息；半径计算器，所述半径计算器计算已经经过对所述偏移量、所述相位误差分量、以及所述振幅比误差分量的消除处理的所述两个信号的平方总和的平方根，并且将所述计算得的平方根作为半径值输出；傅里叶计算器，所述傅里叶计算器通过傅里叶分析，分析相对于所述位置信息的所述半径值中的改变；偏移校正值计算器，所述偏移校正值计算器基于在傅里叶计算器中的分析得的结果计算偏移改变值，所述偏移改变值分别代表在所述偏移校正值中的改变量，以基于计算得的偏移改变值中的相应的一个偏移改变值和当前偏移校正值中的相应的一个当前偏移校正值来获得每个下一偏移校正值；相位校正值计算器，所述相位校正值计算器计算代表在所述相位校正值中的改变量的相位改变值，以基于计算得的相位改变值和当前相位校正值来获得下一相位校正值；振幅比校正值计算器，所述振幅比校正值计算器计算代表在所述振幅比校正值中的改变比率的振幅比改变值，以基于计算得的振幅比改变值和当前振幅比校正值来获得下一振幅比校正值，以及虚拟改变值计算器，所述虚拟改变值计算器基于通过所述傅里叶分析获得的二阶分量来计算虚拟相位改变值和虚拟振幅比改变值，所述虚拟相位改变值代表在忽略所述偏移量中的每个偏移量中的改变和在所述振幅比中的改变时所获得的在所述相位校正值中的另一个改变量，所述虚拟振幅比改变值代表在忽略所述相位差中的改变时所获得的所述振幅比校正值中的另一个改变比率；其中所述相位校正值计算器基于所述偏移改变值、所述半径值、所述虚拟相位改变值和所述虚拟振幅比改变值来计算所述相位改变值。