[发明专利]位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201710440396.5 | 申请日： | 2017-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107526144B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 大柳健夫;新井学 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李鹏宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供使压电促动器的调整作业容易的位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法。位置调整机构(100)调整被收容在底座内部且驱动被驱动部件(101)的压电促动器(103)的位置，具有第1调节部(102)、驱动机构(105)和第2保持部件(108)，第1调节部由第1结合部(106)可释放地固定在压电促动器(103)的一个端部并与被驱动部件(101)连接，驱动机构被固定在压电促动器(103)的另一个端部并使压电促动器(103)的位置移动，第2保持部件由第2结合部(107)可释放地保持驱动机构(105)。驱动机构(105)在从第2保持部件(108)被释放且第1调节部(102)从一个端部被释放的状态下，在规定方向调节压电促动器(103)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 调整 机构 曝光 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种位置调整机构，该位置调整机构对被收容在底座的内部且驱动物体的促动器的位置进行调整，其特征在于，具有连接部、驱动机构和保持部件，所述连接部由第1结合部可释放地固定在所述促动器的一个端部，与所述物体连接，所述驱动机构被固定在所述促动器的另一个端部，使该促动器的位置移动，所述保持部件由第2结合部可释放地保持所述驱动机构，在所述驱动机构从所述保持部件被释放且所述连接部从所述一个端部被释放的状态下，所述驱动机构在规定方向调节所述促动器的位置。
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