[发明专利]形成精细图案的方法有效
| 申请号： | 201710431512.7 | 申请日： | 2017-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN107479125B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 郭恩爱;康珉赫;赵国来 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;田野 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种形成精细图案的方法，所述方法包括以下步骤：在基体部上形成导电层；在导电层上形成包括粘附材料的牺牲层，粘附材料包括邻苯二酚基；在牺牲层上形成抗蚀图案；以及通过使用抗蚀图案作为掩模使导电层图案化来形成精细图案。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 精细 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种形成精细图案的方法，所述方法包括：在基体部上形成导电层；在所述导电层上形成包括粘附材料的牺牲层，所述粘附材料包括邻苯二酚基；在所述牺牲层上形成抗蚀图案；以及通过使用所述抗蚀图案作为掩模使所述导电层图案化来形成精细图案。
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