[发明专利]一种光学主镜电磁支承装置及其方法

摘要

本发明公开了一种光学主镜电磁支承装置及其方法，由电磁支承部分、电磁导向部分及状态监测部分组成；电磁支承部分主要由支承体、电磁铁、永磁体、上缸体、下缸体等组成，用于提供光学主镜所需支承力；电磁导向部分由电磁铁、永磁体、连接螺栓、永磁体安装座、连接螺栓等组成，用于引导支承体直线运动，并为支承装置提供径向刚度；状态监测部分由承重传感器、激光测微仪以及传感器固定件等组成，用于监测和反馈电磁支承装置状态参数，用以实时控制和调节支承装置。该光学主镜电磁支承装置用于在大口径光学主镜加工过程中，为主镜提供多点相等的精准可调支承力和支承高度，可完全消除传统支承装置内部存在的机械阻力，具有精度高、可调节、零泄漏等优点。

主权项

1.一种光学主镜电磁支承装置，其特征在于：包括电磁支承装置、径向电磁导向装置和状态检测装置，其中，所述电磁支承装置包括缸体、轴向电磁导向装置及支承体（19），所述缸体为中空结构且在中心轴处上下贯穿开设通孔，其内部空腔体的中心位置设置呈“十”字型截面的支承体（19），纵向轴两端凸出在空腔体的外部；所述轴向电磁导向装置沿纵向设置在缸体内部空腔中，由二号电磁铁和二号永磁体（17）同心对应设置组成，其中，所述二号电磁铁固定在所述缸体上，所述二号永磁体（17）固定在所述支承体（19）的横向两端上；所述径向电磁导向装置固定于所述缸体的空腔体外侧，包括位于同一水平面上水平设置的一号电磁铁和一号永磁体（10），两者同心对应设置组成，所述一号电磁铁固定在所述缸体上，所述一号永磁体（10）固定在所述支承体（19）的纵向轴上；所述轴向电磁导向装置和径向电磁导向装置各自分别沿缸体中心轴周向对称布置；所述状态检测装置包括承重传感器（5）和激光测微仪（21），所述承重传感器（5）固定在所述支承体（19）的纵向轴的上端，所述激光测微仪（21）固定在所述缸体的下部外侧中心位置。