[发明专利]一种激光干涉检测轴承滚珠面型误差的系统及方法在审
| 申请号： | 201710375587.8 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107121092A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 刘志刚;郝维娜;顾少伟;令锋超 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光干涉检测轴承滚珠面型误差的系统及方法，包括稳频激光器、空间滤波器、激光扩束器、分光镜、参考平面反射镜、成像透镜、CCD相机和移相装置；稳频激光器的出射光路上依次设置有空间滤波器、激光扩束器、分光镜、测球补偿透镜和待测轴承滚珠；分光镜的旁侧设置有参考平面反射镜，参考平面反射镜能够驱动参考平面反射镜移动的移相装置；参考平面反射镜、分光镜、成像透镜和CCD相机位于同一光路上，成像透镜和参考平面反射镜设置于分光镜相对的两侧。本发明测量系统和方法简单，并通过波面拟合的方法降低了对被测件的高精度定位要求，从而提高了检测结果的准确性。能够应用与轴承滚珠面形误差的快速高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉 检测 轴承 滚珠 误差 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种激光干涉检测轴承滚珠面型误差的系统，其特征在于，包括稳频激光器(1)、空间滤波器(2)、激光扩束器(3)、分光镜(4)、参考平面反射镜(5)、成像透镜(9)、CCD相机(10)和移相装置；稳频激光器(1)的出射光路上依次设置有空间滤波器(2)、激光扩束器(3)、分光镜(4)、测球补偿透镜(7)和待测轴承滚珠(8)；分光镜(4)的旁侧设置有参考平面反射镜(5)，参考平面反射镜(5)连接能够驱动其移动的移相装置；参考平面反射镜(5)、分光镜(4)、成像透镜(9)和CCD相机(10)位于同一光路上，成像透镜(9)和参考平面反射镜(5)设置于分光镜(4)相对的两侧。
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