[发明专利]一种基于PSD的轮廓扫描测量装置在审
| 申请号： | 201710358647.5 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107121091A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 孙明;赵善文;彭程;张耀亮 | 申请（专利权）人： | 西安五湖智联半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710016 陕西省西安市经济技术*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明专利公开了一种基于PSD的轮廓扫描测量装置，该装置包括激光发射单元，用于产生激光束；扫描单元激光束照射到MEMS振镜上，振镜将激光束反射，同时做扫描动作，使发射激光束的路径呈一定张角的扇形区域；接收单元收集漫反射光、滤除环境噪声获取轮廓信息，并输出。控制单元，用于协调其余各单元的工作，实时计算被测物体三维轮廓。本发明采用可控MEMS振镜作为扫描单元的扫描结构，振镜的高频率、小体积的特点可实现整个测距装置的小型化设计要求，且成本低廉，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 psd 轮廓 扫描 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于PSD的轮廓扫描测量装置，由激光管、激光准直构件、MEMS振镜、透镜、滤光片及PSD按照一定角度及距离安装，其特征在于：激光发射光束，其光束运动路径形成扇形面，扇形面与被测物体相交，反射光作用在PSD上，再根据反射光在PSD上的位置信息计算被测物体轮廓，之后根据装置与被测物的相对运动，重建被测物体的三维表面轮廓。
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