[发明专利]全自动量产型纳米压印装置在审

专利信息
申请号: 201710354737.7 申请日: 2017-05-18
公开(公告)号: CN107132728A 公开(公告)日: 2017-09-05
发明(设计)人: 刘晓成;史晓华 申请(专利权)人: 苏州光舵微纳科技股份有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司32232 代理人: 黄丽莉
地址: 215500 江苏省苏州市常熟经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种全自动量产型纳米压印装置,包括底座,底座上设有导轨;多个纳米压印机构,纳米压印机构设置于底座上且分布于导轨长度方向的两侧;供料机构,包括料片供料机构和软膜板供料机构,料片供料机构和软膜板供料机构设置于底座上且位于导轨长度方向的一侧;物料移载机构,物料移载机构移动设置于导轨上,用于将料片和软膜板在供料结构和纳米压印机构之间搬运。本发明相较于现有技术,物料移载机构将料片和软膜板在供料结构和纳米压印机构之间搬运,结构合理,省却人力,实现自动搬运料片和软膜板、以及自动压印,多个纳米压印机构同时工作,大大提高工作效率。
搜索关键词: 全自动 量产 纳米 压印 装置
【主权项】:
全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,包括:底座,底座上设有导轨;多个纳米压印机构,纳米压印机构设置于底座上且分布于导轨长度方向的两侧;供料机构,包括料片供料机构和软膜板供料机构,料片供料机构和软膜板供料机构设置于底座上且位于导轨长度方向的一侧;物料移载机构,物料移载机构移动设置于导轨上,用于将料片和软膜板在供料结构和纳米压印机构之间搬运。
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