[发明专利]一种新型高精度三维激光曝光固化设备

摘要

本发明提供一种新型高精度三维激光曝光固化设备，包括机架及设置于机架内部的控制器、三维旋转夹具系统及三维动态聚焦系统；三维动态聚焦系统包括激光器、扩束镜、三维动态聚焦振镜、扫描振镜以及场镜；由激光器发射的光束首先射向扩束镜，再由扩束镜进入三维动态聚焦振镜，最后到达扫描振镜区域，并在待加工物件上形成三维聚焦面；还包括用于调节扩束镜与三维动态聚焦振镜之间沿光轴方向距离大小的传动装置；本设计非常适合针对不同高度曲面的曝光固化加工处理，可实现160毫米x160毫米的扫描范围,相对于前聚焦式系统可以得到更小的聚焦光斑,且可以显著的提高聚焦光斑的均匀性，使用效果好。

主权项

1.一种新型高精度三维激光曝光固化设备，其特征在于：包括机架以及设置于机架内部的控制器、三维旋转夹具系统以及三维动态聚焦系统；所述三维动态聚焦系统包括与控制器电性连接的激光器、扩束镜、三维动态聚焦振镜、扫描振镜以及场镜；由激光器发射的光束首先射向扩束镜，再由扩束镜进入三维动态聚焦振镜，最后到达扫描振镜区域，并在待加工物件上形成三维聚焦面；还包括用于调节扩束镜与三维动态聚焦振镜之间沿光轴方向距离大小的传动装置，所述三维动态聚焦振镜设置于该传动装置上；所述三维旋转夹具系统包括第一旋转架、驱动第一旋转架旋转的第一驱动电机以及固定于该第一旋转架一端的第二驱动电机；待加工的物件设置于第一旋转架中，且随第一旋转架旋转；所述三维动态聚焦系统设置于三维旋转夹具系统上部；所述三维旋转夹具系统外侧还设置有与控制器电性连接、用于避免在设备运行过程中造成人员伤害的安全挡板；在所述安全挡板上设置有安全光栅，设备运行过程中，人手或其他部位伸入安全光栅的感测范围后，控制器控制设备暂停运行。