[发明专利]用于光学元件的激光预处理装置及处理方法

摘要

本发明公开了一种用于光学元件的激光预处理装置及处理方法，包括：用于发出激光的激光光源；依次设置在激光传输方向上的分光劈板、反射镜、光束整形系统和放置待处理光学元件的电动平移台；其中，激光光源发出的激光经分光劈板之后经反射镜传输至光束整形系统，光束整形系统对激光进行光束整形，将本身高斯分布的激光光斑整形成平顶均匀分布的方光斑，最后辐照到光学元件表面来对光学元件进行激光预处理。通过本发明的激光预处理装置，形成平顶聚焦的均匀方形激光光斑使整个预处理过程辐照的能量密度均匀，并且能够通过倍率切换结构来轻松调节光斑的尺寸，进而调节到达光学元件表面激光能量密度的目的。

主权项

1.一种用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，包括：用于发出激光的激光光源；依次设置在激光传输方向上的分光劈板、反射镜、光束整形系统和放置待处理光学元件的电动平移台；其中，激光光源发出的激光经分光劈板之后经反射镜传输至光束整形系统，光束整形系统对激光进行光束整形，将本身高斯分布的激光光斑整形成平顶均匀分布的方光斑，最后辐照到光学元件表面来对光学元件进行激光预处理；所述的光束整形系统包括依次位于激光光路上的复眼透镜组、倍率切换结构和会聚透镜组；所述的复眼透镜组用于匀滑激光入射光束，再经倍率切换机构和会聚透镜组聚焦后形成矩形的平顶能量分布；所述的倍率切换结构包括：六边形的手动转盘结构，其六个面分别作为一个输入端，使手动转盘结构实现六种输入和输出；所述六个面的两个相对面的方向上安装了两个不同倍率的扩束器，组成两个扩束镜组，另一个相对面的方向上安装直通孔；其中，直通孔对应的两个面倍率一致，扩束器分别由两端输入，形成两种倍率；六个输入端可以通过手动转盘结构转动实现五档的倍率切换，从而输出五种不同面积的光斑。