[发明专利]获得激光二极管的方法在审
| 申请号： | 201710332367.7 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107370018A | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | G·罗杰罗;G·米奈格海尼;G·莫瑞罗;A·斯塔诺;M·罗索 | 申请（专利权）人： | 普里马电子股份公司 |
| 主分类号： | H01S5/026 | 分类号： | H01S5/026 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 张小稳 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种获得激光二极管的方法。该方法包括以下步骤提供(100)包括光学层(4、6、8)的衬底(2)；执行(102)所述衬底(2)的第一干蚀刻，以获得具有预定深度的两个相对的横向面(10)，所述横向面(10)表示腔体(12)的侧壁；清洁(104)所述腔体(12)的底部；在整个衬底(2)上沉积(106)涂层(52)；执行(108)第二蚀刻，以使所述腔体(12)的底部没有所述涂层(52)；执行(110)所述腔体(12)的底部的第三深蚀刻；去除(112)所述涂层(52)，以获得所述激光二极管(1)，其中所述横向面是二极管(1)的横向镜子(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 获得 激光二极管 方法 | ||
【主权项】：
一种用于获得激光二极管(1)的方法，包括以下步骤：提供(100)包括光学层(4、6、8)的衬底(2)；执行(102)所述衬底(2)的第一干蚀刻，以获得具有预定深度的两个相对的横向面(10)，所述横向面(10)表示腔体(12)的侧壁；清洁(104)所述腔体(12)的底部；在整个衬底(2)上沉积(106)涂层(52)；执行(108)第二蚀刻，以使所述腔体(12)的底部没有所述涂层(52)；执行(110)所述腔体(12)的底部的第三深蚀刻；去除(112)所述涂层(52)，以获得所述激光二极管(1)，其中所述横向面是二极管(1)的横向镜子(10)。
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