[发明专利]一种基于介质电润湿效应的可调光衰减器

摘要

本发明提供公开了一种基于介质电润湿效应的可调衰光减器，该衰减器采用三层结构，第一层为上极板，包括方形透明玻璃1、透明电极2以及疏水薄膜3；第二层为方形透明玻璃层8，沿它的对角线有一条微流道5，流道中有受控离散电解质液滴4，其折射率与透明玻璃匹配，在玻璃层同一水平线上有两个V型槽，分别放入射光纤准直器6和出射光纤准直器7；第三层为下极板，包括方形透明玻璃作基底13，多晶硅作衬底12，衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列11，电极阵列上热氧化一层SiO2作介质层10，介质层涂覆一层疏水薄膜9。该衰减器操作简单、体积小、可集成、衰减范围大，插入损耗小的优点，并且具有重要的技术价值和应用前景。

主权项

一种基于介质电润湿效应的可调衰光减器，其特征在于：所述衰减器采用三层结构，第一层为上极板，所述上极板包括方形透明玻璃(1)、透明电极(2)和疏水薄膜3，第二层为方形透明玻璃层(8)，沿它的对角线有一条微流道(5)，流道中有受控离散电解质液滴(4)，在玻璃层同一水平线上开两个V型槽，分别放入射光纤准直器(6)和出射光纤准直器(7)，第三层为下极板，所述下极板包括方形透明玻璃作基底(13)、多晶硅作衬底(12)、衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列(11)、电极阵列上热氧化一层SiO2作介质层(10)和介质层上涂覆一层疏水薄膜(9)，下极板微电极阵列(11)和上极板透明电极(2)分别由引线(17、14)引至交流电源(15)正负极。